ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 375 x 300 x 270 mm


●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。

●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。

●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが

ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 375 x 300 x 270 mmの特徴


●排気速度(L/min)50/60Hz:60/72
●到達圧力(Pa):21.3×10「「の3乗」」
●吸気口径(mm):9
●電源(V):単相100
●寸法(mm):212×278×224.5
●騒音値(dB):-
●電源:単相100V
●全幅×全長×全高(mm):212×278×224.5

●サーマルプロテクタ付
●異電圧対応可能(要相談)
●低速低圧用
●異電圧対応可(お問い合せください)

ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 375 x 300 x 270 mmの仕様

重量 11.000KG
原産国 日本