■特徴
バランサ等の装置に最適な高頻度・高応答での優れた耐久性と十分な給排気量を実現した精密レギュレータです。
0.03～0.85MPaの圧力範囲で精密圧力制御が可能です。


■仕様
流体温度：-5～60℃（凍結なきこと）
感度：フルスパンの0.2％以内
繰返し性：フルスパンの±0.5％以内