■特徴
ノズルフラッパによるパイロット圧力制御方式を採用しています。
設定圧力範囲内で高精度・高安定な精密圧力制御が可能です。
特に微圧・低圧域の制御に優れた精密レギュレータです。


■仕様
流体温度:-5~60℃(凍結なきこと)
感度:フルスパンの0.1%以内
繰返し性:フルスパンの±0.5%以内
流体通路部:ノングリス仕様